提要：精密洗净的方法分为湿法清洗与干法清洗。　　 
  
          1.       干法清洗是指用高压气流、臭氧、激光、等离子体、紫外线等方法来清洁工件表面。 
  
      高压气流主要利用气体高速运动的动能来清除工件表面的污染物。臭氧是一种强氧化剂，分子由3个氧原子组成(O3)，利用臭氧对工件表面的有机物进行氧化分解，也可对微生物进行杀菌。紫外线也有对有机物的氧化分解能力，主要用于杀菌，其波长在210～260nm间，最强的是265nm。等离子体清洗，是指对低压气体施加电场，低压气体中少量的电子被电场加速，以强大的能量冲撞周围的分子和原子，再飞出电子激起离子化；等离子体可有效清除工件表面残留的有机物和水膜。激光清洗，是指采用高能激光束照射工件表面，使表面的污染物发生蒸发或剥离。 

          2.       湿法清洗是指用液体的清洗介质从工件表面清除液体的污染物和固体的污染物，使工件表面达到一定的洁净程度。 
  
      湿法清洗包括浸洗、超声波清洗、汽相清洗、喷淋清洗、喷流清洗、电解清洗以及各种强化清洗的方法如擦洗、刷洗、抖动洗、转动洗等。污染物可以被溶解在清洗介质中，或被清洗介质所乳化、分散、卷离而脱离工件。清洗介质可以是有机溶剂，也可以是水基清洗剂或水。湿法清洗后，应进行干燥。在精密洗净中，常把湿法清洗与干法清洗有机的结合起来。